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韩国电子巨头三星宣布已经通过了重要的生产里程碑。在昨天的新闻发布中,它表示“已经成功出货了100万个基于极紫外(EUV)技术的业界首个10nm级(D1x)DDR4 DRAM模块”。这些模块已经过三星合作伙伴的测试,仅仅是用于高级PC,移动,企业服务器和数据中心产品的EUV过程节点的开始。
DRAM产品与技术执行副总裁Sung-bae Lee表示:“这一重大进步突显了我们将如何通过及时开发高端工艺技术和面向高端存储器市场的下一代存储器产品,继续为全球IT创新做出贡献。。的确,三星公司是第一家在EUV DRAM生产中采用EUV光刻技术的公司,它希望这意味着它可以克服整个行业所面临的DRAM扩展挑战。
新的基于EUV的内存生产过程的好处包括:减少了多图案中的重复步骤,提高了图案精度,提供了增强的性能,并且产量更高。三星补充说,基于EUV的半导体的开发时间也缩短了。
凭借上述所有优点,可以理解的是,在成功进行客户评估之后,三星将在下一代DRAM中完全部署EUV。这意味着从第四代10nm级(D1a)或高度先进的14nm级DRAM开始。展望不久的将来,这意味着EUV将于明年用于基于D1a的DDR5和LPDDR5的批量生产-将三星12英寸D1x晶圆的生产效率提高一倍。
专门针对明年DDR5 / LPDDR5市场的扩展,三星将于今年下半年在韩国平泽市启动第二条半导体生产线。
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